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포커스링(FOCUS RING)

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  • 포커스링(FOCUS RING)

    반도체 식각(Dry etching) 공정에서 실리콘 웨이퍼를 고정시키고, 

    균일한 플라즈마 밀도유지와 웨이퍼 측면(Edge)의 오염을 방지하는

    역활을 수행하는 부품


    적용산업

     - 반도체 (Semiconductor)

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