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  • Focus Ring

    반도체 Etching(식각) 공정에서 웨이퍼를 고정시키는 부품

    ◆  용도

       - Plasma EtherParts 수명 연장 및 수율 개선

        Plasma를 균일하게 모아주는 역할

        ▶ 실리콘 Wafer 고정 및 측면(Edge) 오염 방지

        Etcher 내부 고가의 ESC Parts 마모 전 Buffer 역할

    ◆  특징

       - Particle Free

       - 기존 소재 대비 높은 수명 (Excellent Plasma resistance) 

  • 열전소자

    전기에너지를 가열 또는 냉동에 필요한 에너지로 전환(펠티어 효과) 시켜주거나, 제백효과를 이용하여 온도 차이를 전기에너지로 변환시키는 소자
      구분

         - 제백효과(폐열à 전기에너지)이용한

           TEG(Thermoelectric Generator)소자

         - 펠티어효과(전기à열에너지)를 이용해 냉각을 하는

           TEC(Thermoelectric Cooler)소자
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