회사소개
회사개요
CEO인사말
회사연혁
회사비전
특허 및 인증
조직도
사업분야
이차전지
반도체
디스플레이
에너지
R&D
지속가능경영
윤리경영
환경안전경영
사회공헌
채용정보
인재상
인사제도
복리후생
고객센터
공지사항
공시정보
보도자료
eng
Chn
기타 장비
◆ 용도
- Plasma Ether용 Parts 수명 연장 및 수율 개선
▶ Plasma를 균일하게 모아주는 역할
▶ 실리콘 Wafer 고정 및 측면(Edge) 오염 방지
▶ Etcher 내부 고가의 ESC Parts 마모 전 Buffer 역할
◆ 특징
- Particle Free
- 기존 소재 대비 높은 수명 (Excellent Plasma resistance)
- 제백효과(폐열à 전기에너지)를 이용한
TEG(Thermoelectric Generator)소자
- 펠티어효과(전기à열에너지)를 이용해 냉각을 하는
대 표 자 : 박근노 | 상호 : ㈜나인테크 | 주소 : 경기도 평택시 진위면 마산6로 6 대표전화 : 031-476-0305 | 팩스 : 031-476-0306 | 사업자등록번호: 227-87-00493 COPYRIGHT(C) 2018 나인테크. ALL RIGHTS RESERVED