Loadlock Chamber 페이지 정보 작성자 관리자 작성일18-12-27 14:30 조회1,242회 댓글0건 관련링크 이전글 목록 본문 ◆ 특징 및 장점 - N2 저진공, 고진공 사용 가능 ◆ 적용 범위 - N2 Process, Low/High Vac Process ◆ 주요 기능 - Bottom Lid Up/Down을 통해 Glass 및 Mask 이송 - Pumping, Vent를 통한 Chamber 진공도 제어 - Gauge를 통한 진공 압력 검출 이전글 목록
