회사소개
회사개요
CEO인사말
회사연혁
회사비전
특허 및 인증
조직도
사업분야
이차전지
반도체
디스플레이
에너지
R&D
지속가능경영
윤리경영
환경안전경영
사회공헌
채용정보
인재상
인사제도
복리후생
고객센터
공지사항
공시정보
보도자료
eng
Chn
- 2Cassette Loading
- PCB Belt Rail
- Pin Head Ass`y
- PC Control - Touch Interface - Trouble Shooting Guide
• EXPANDER-RING LOADER/UNLOADER: 2 Cassette M`Z (6 Slot)
- PC Control - Touch
- Trouble Shooting Guide
- User 요청에 따라 설비 구성 가능
- Control Box 내재화를 통한 설비구성 Unit 최소화
- 비접촉식 세정 방식 적용을 통한 Glass Pattern Damage 최소화
◆ 적용 범위
- Panel Glass Size 6G 대응
◆ 주요 기능
- Laser Cutting 된 원자재 표면의 잔류 이물 및 Fume을
Clean Roll Wiper로 Wiping하여 세정
- 제품 Size 55”, 65”, 77” 3종 대응 (44” ~ 88” 개발 검토 中)
- Cutting 된 Inch별 원자재 투입 후 Chemical 사용하여 세정
- 특수 Roll Brush를 적용하여 Glass Pattern Damage 최소화
- Panel Glass Size 2G ~ 8.5G 대응(10G 이상 개발 中)
- 전 공정 이후 잔류 이물(Particle, 유기물, 산화막 등) 제거
- Dry 세정 시 초음파를 활용하여 Glass 표면의 환경성 Particle Suction
- Wet 공정 시 하부 Spray Shower 및 Roll Brush 사용하여
- Compact Design
- Cell Phone size 3” ~ 7” 대응 가능
- Cover Glass Module 조립 전 세정
- 고온 이류체 분사를 통한 초기 이물 및 Glass 표면 Direct Wiping하여
고착화된 잔류 이물 제거
- 세정공정용 모듈(D/B, R/B, MS, SJ,HPMJ 등)을 통한 산화막, 유기물,
입자성 Particle등 제거
- CF / TFT 및 Flexible OLED用 Glass 세정 가능
- 공정 別 사용 Chemical Liquid의종류에 따라서 설비 재질, 기판사이즈에 따른
설비 크기 변경 대응가능
- Glass Panel Size 기준 2G ~ 8.5G대응 설비 제작 가능(10G 이상 개발 中)
- 초기 입고 Glass 세척
- N2 저진공, 고진공 내에서 사용 가능
- 진공 Chamber 내에서 robot에 의한 개별 Chamber로 Glass를 이송
- N2 Process, Low/High Vac Process
- 진공 및 N2 상태에서 Chamber 내부에 존재하는 Robot을 이용하여
공정, 물류 Chamber로 기판을 이송
- 진공 Chamber 구조로 Cassette Type 적재
- Pumping, Vent를 통한 Chamber 내 진공도 제어
- Cassette Up/Down을 통한 Mask 적재
- 진공 Chamber 내부에서 기재를 Rotation
◆ 특징 및 장점
- Aligner 후 buffer chamber
◆ 주요기능
- 20단 Cassette에 Glass 수납, 취출 가능
- Pumping, Vent를 통한 Chamber 진공도 제어
- N2 저진공, 고진공 사용 가능
- Bottom Lid Up/Down을 통해 Glass 및 Mask 이송
대 표 자 : 박근노 | 상호 : ㈜나인테크 | 주소 : 경기도 평택시 진위면 마산6로 6 대표전화 : 031-476-0305 | 팩스 : 031-476-0306 | 사업자등록번호: 227-87-00493 COPYRIGHT(C) 2018 나인테크. ALL RIGHTS RESERVED